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更新時間：2025-09-09 
瀏覽次數：77渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉子的聯合運動來排氣的干式真空泵。
用途廣泛，包括真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。
渦旋式干式真空泵由兩個形狀相同的渦旋體組成，渦旋體的中心稍微偏移，使它們的壁彼此線接觸，從而一側相對于另一側進行搖擺運動，其結構是這樣的。被困在月牙形空間中的氣體被向中心壓縮并從中心的孔排出。 壓縮過程通常設計為發生兩次或多次，從而產生較低的振動和噪音。極限壓力可達1Pa。
•雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實現操作運行。
•可實現高極限真空。
•低振動低噪音。
•維護周期可通過計時表控制。
結構緊湊，排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
通過空氣沖洗抑制水分凝結。
分析設備
氣體回收系統
涂裝設備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導體制造工藝
| Unit50Hz60Hz設計排氣速度度※1L/min90108極限壓力Pa (kPa)5.0使用電動機※2 單相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 電容器啟動?運転全負荷電流A2.6/1.3/1.6(100/200/230V)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)重量kg14.0吸氣口徑 KF-25排氣口徑 KF-16使用環境溫度范圍℃5～40水蒸氣處理量g/day≦5 以下 （AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60％以下）噪音水平dB≦52 （AF開時※3, ≦57）最大尺寸mm214(W)×308(L)×225(H) |
※1：設計排氣速度時當抽取大氣壓氣體時實際排氣速度的1.2倍。
※2：不包括電源插頭和電源線。
※3：AF = Air Flash
空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水，而且還具有恢復極限力的效果。
| 型號認證標準※ＣＥ自我宣言1Φ、100V系1Φ、200V系3Φ、200V系3Φ、400V系DIS-90cTUV●●（可以通過更換端子板切換）-- |
●：標準、○：可選對應、－：對應不可
※ｃＴＵＶｕｓ認證 ： 本產品是通過國際第三方產品安全測試和認證，符合美國標準的高質量產品。
１ | 粉末和生成物吸入會導致泵損壞。 |
２ | 吸入有害氣體如爆炸性氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。 |
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